隨著宏觀經(jīng)濟(jì)的穩(wěn)步復(fù)蘇和終端需求的逐步增強(qiáng),半導(dǎo)體行業(yè)正站在一個(gè)嶄新的歷史節(jié)點(diǎn)上。技術(shù)迭代升級(jí)和降本增效,已成為半導(dǎo)體企業(yè)把握機(jī)遇、應(yīng)對(duì)挑戰(zhàn)的兩大核心策略。作為本土超純水企業(yè)的代表,高頻科技憑借其先進(jìn)的超純水工藝技術(shù),為半導(dǎo)體企業(yè)沖刺先進(jìn)制程提供了有力支持,并帶來(lái)一系列優(yōu)化成本效益的創(chuàng)新解決方案,助力企業(yè)在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中贏得先機(jī)。

超純水技術(shù)精進(jìn),助力半導(dǎo)體企業(yè)創(chuàng)新發(fā)展

半導(dǎo)體制造是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程,涉及晶圓制備、光刻工藝、刻蝕和腐蝕、測(cè)試、封裝等多個(gè)關(guān)鍵步驟。在這一系列精細(xì)的操作中,超純水扮演著至關(guān)重要的角色。例如,在晶圓制備過(guò)程中,超純水用于清潔、去除顆粒和化學(xué)雜質(zhì),確保晶圓表面的潔凈度,從而降低制造缺陷。在半導(dǎo)體光刻工藝中,超純水用于洗凈掩膜板、鏡片和晶圓,以確保圖案的精確重復(fù)和光刻質(zhì)量。

超純水的水質(zhì)對(duì)于半導(dǎo)體制造的重要性不言而喻。一旦水質(zhì)無(wú)法達(dá)到足夠的純凈度,其中微粒子、氣泡(包括溶解的氧氣和氮?dú)?、總有機(jī)碳(TOC)、金屬離子或硼、硅等元素的微小變化,都將對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生顯著影響,進(jìn)而降低產(chǎn)品的質(zhì)量和合格率。例如,當(dāng)TOC(總有機(jī)碳)指標(biāo)下降時(shí),光刻精度會(huì)受到影響,從而導(dǎo)致芯片質(zhì)量的下降;金屬離子指標(biāo)的差異可能會(huì)改變晶圓的原子密度,同樣會(huì)導(dǎo)致芯片質(zhì)量的降低;而硼(Boron)元素含量過(guò)高則會(huì)干擾P-N結(jié)的形成,對(duì)芯片質(zhì)量產(chǎn)生不良影響。在邁入高級(jí)制程后,一些以往沒(méi)有影響良率的細(xì)微分子,也因?yàn)橹瞥叹€徑縮小,成為影響品質(zhì)的關(guān)鍵因素。因此,隨著芯片技術(shù)的不斷進(jìn)步,對(duì)所需超純水質(zhì)量的要求也日益嚴(yán)苛。

作為本土超純水企業(yè)的代表,高頻科技始終致力于超純水工藝的提升,以滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水質(zhì)量日益提升的要求。高頻科技的超純水系統(tǒng),融合了物理、化學(xué)、光化學(xué)、機(jī)械、空氣動(dòng)力學(xué)、流體力學(xué)等多項(xiàng)學(xué)科的前沿技術(shù)。該系統(tǒng)利用多介質(zhì)過(guò)濾、活性炭吸附、離子交換、反滲透膜、紫外線殺菌、紫外線TOC去除、電滲析、超濾、鈉濾、真空脫氣塔、膜脫氣等一系列先進(jìn)的專利處理環(huán)節(jié),配合8次增壓提升,預(yù)處理、初級(jí)制備和拋光處理三個(gè)關(guān)鍵步驟,實(shí)現(xiàn)了對(duì)水中顆粒物、陰陽(yáng)離子、特殊離子、TOC(總有機(jī)碳)、微生物、溶解氣體的嚴(yán)格控制,確保了產(chǎn)水水質(zhì)接近絕 對(duì)純度,電導(dǎo)率無(wú)限接近18.24MΩ的理論極限值,純度高達(dá)99.9999999999%(ppt級(jí)別——十億分之一)。憑借技術(shù)工藝的不斷精進(jìn),高頻科技超純水質(zhì)量已達(dá)到美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn)等國(guó)際高標(biāo)準(zhǔn),不僅可滿足高端芯片生產(chǎn)對(duì)超純水品質(zhì)的需求,還可助力半導(dǎo)體先進(jìn)制程下的產(chǎn)品良率和生產(chǎn)效率提升,為企業(yè)創(chuàng)新發(fā)展提供有力支持。

先進(jìn)水資源管理方案,協(xié)助半導(dǎo)體行業(yè)提升經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益

由于半導(dǎo)體用水量大,水資源管理的資本支出被認(rèn)為是一個(gè)需要監(jiān)測(cè)的關(guān)鍵指標(biāo)。正因如此,越來(lái)越多半導(dǎo)體企業(yè)日益重視水資源管理。例如,臺(tái)積電在節(jié)水方面將水處理和回收作為重要環(huán)節(jié),目前其使用的水源中,再生水的比例高達(dá)85%-90%,工業(yè)廢水回收率更是達(dá)到了86%。

而在內(nèi)地,高頻科技在水處理和回收利用等方面的表現(xiàn)同樣出眾。通過(guò)打造先進(jìn)的水循環(huán)系統(tǒng),高頻科技助力半導(dǎo)體企業(yè)提升水資源利用率,從而實(shí)現(xiàn)降本增效,有效降低水風(fēng)險(xiǎn),并提升經(jīng)濟(jì)及社會(huì)效益。

高頻科技依托自有優(yōu)秀半導(dǎo)體水系統(tǒng)專家,在確保超純水水質(zhì)純度穩(wěn)定達(dá)標(biāo)的基礎(chǔ)之上,帶來(lái)研發(fā)交付了超過(guò)30種可選回用水工藝技術(shù),包括砂濾及炭濾器反洗水回用、砂濾及炭濾器正沖水回用、反滲透濃縮水回用、EDI和UF濃縮水回用、反滲透沖洗水回用、冷卻塔排放水回用、低濃度有機(jī)廢水回用等。目前,高頻科技的水制程回收率已達(dá)到75%-90%,致力于讓每一滴超純水都可以循環(huán)再利用,從而顯著降低企業(yè)的用水成本,提升企業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力和可持續(xù)發(fā)展能力。此外,高頻科技還通過(guò)前瞻性規(guī)劃、專家運(yùn)維和綠色水系統(tǒng)創(chuàng)新等多維度,構(gòu)建“綠色廠務(wù)工廠”模式,協(xié)助半導(dǎo)體企業(yè)進(jìn)一步降低資源消耗、降低生產(chǎn)成本,滿足環(huán)保要求,從而在經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益上實(shí)現(xiàn)雙重提升。

半導(dǎo)體企業(yè)通過(guò)技術(shù)迭代和精細(xì)的成本效益優(yōu)化,可以不斷提升自身的核心競(jìng)爭(zhēng)力,為企業(yè)的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。高頻科技作為與半導(dǎo)體生產(chǎn)緊密相關(guān)的超純水領(lǐng)域科技企業(yè),不斷地通過(guò)技術(shù)進(jìn)步和多元?jiǎng)?chuàng)新,助力半導(dǎo)體企業(yè)加快技術(shù)創(chuàng)新步伐,開(kāi)拓降本增效空間,為半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)發(fā)展注入動(dòng)力,為推動(dòng)整個(gè)行業(yè)邁向更高水平做出貢獻(xiàn)。